在硅料的腐蚀清洗过程中，为了减少硅料的消耗及降低反应速率，需添加()作为缓蚀剂。在硅料酸洗后，

在硅料的腐蚀清洗过程中，为了减少硅料的消耗及降低反应速率，需添加（)作为缓蚀剂。在硅料酸洗后，

虽然经过了漂洗和冲洗，但在硅料的表面或缝隙等仍有可能残留酸。如果直接干燥，残留酸会对硅料进行氧化，因此还需在酸洗后进行()。