在炼油化工生产中，气动仪表对供风的要求相当严格，一旦供风质量达不到使用要求，仪表设备将无法正常工作。仪表施工规范中对供风中含尘、含油、含水等指标也都有明确规定，要求净化后的气体中，含尘粒直径不应大于()。