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题目内容（请给出正确答案）

[主观题]

干法刻蚀由于图形的保真度比较好，是亚微米和深亚微米尺寸小刻蚀器件的主要方法。（)

此题为判断题(对，错)。

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更多“干法刻蚀由于图形的保真度比较好，是亚微米和深亚微米尺寸小刻蚀…”相关的问题

第1题

对于纤维过滤技术，下面哪种说法是错误的?()

A、微粒的粒径越小,纤维过滤的重力效益就越小

B、微粒越小,过滤速度越低,扩散效应就越显著

C、拦截效应是：粒径在亚微米范围内的小尘粒,尘粒随着气流流线运动,当流线紧靠纤维表面时,尘粒由于与纤维表面发生接触而被拦截(阻留)下来

D、微粒越小,拦截效应就越显著

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第2题

玻璃回流可以满足深亚微米IC的平坦化要求。（)

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第3题

钻井液中的亚微米固相颗粒含量影响机械钻速。（)

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第4题

由于干法刻蚀中是同时对晶片上的光刻胶及裸露出来的薄膜进行刻蚀的，所以其（)就比以化学反应的方式进行刻蚀的湿法还来得差。

A.刻蚀速率

B.选择性

C.各向同性

D.各向异性

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第5题

超精密加工包括了所有能使零件成形、位置和尺寸精度到微米和亚微米范围的机械加工方法。（)

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第6题

高档烧结永磁铁氧体材料生产工艺技术中最关键的是预烧料生产技术、亚微米细晶粒制粉技术以及高密度、高取向度的制造技术。（)

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第7题

打开油气层的钻井液要求亚微米颗粒含量（)。

A.高

B.低

C.不要求

D.无法判断

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第8题

目前精密加工精度可以达到0.1um，又称为（)。

A.微米加工

B.亚微米加工

C.微微米加工

D.纳米加工

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第9题

聚合物钻井液的特点是固相含量低，（)低。

A.稳定性

B.pH值

C.亚微米粒子含量

D.钻速

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第10题

纤维的表面就是指纤维表层0.5-5nm内的组成、结构和其亚微米及以下尺度的表观形态。（)

此题为判断题(对，错)。

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